擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)是利用等離子體清洗表面的技術(shù)，能夠有效去除物體表面的有機(jī)物和無機(jī)物。將待清洗的物體放在清洗室內(nèi)，關(guān)閉清洗室的門。清洗室內(nèi)包含一個(gè)空氣抽真空裝置，用于將清洗室內(nèi)的空氣抽出，以創(chuàng)建一個(gè)真空環(huán)境。接下來，通過加入一定的工作氣體(通常是氬氣)，清洗室內(nèi)的氣體開始發(fā)生放電現(xiàn)象，形成等離子體。等離子體是一個(gè)高度激活和復(fù)雜的氣體體系，其中包含了電子、陽離子、中性活性粒子、自由基和分子等。等離子體通過與待清洗物體表面的接觸，對物體表面進(jìn)行清洗。

  

　　擴(kuò)展型等離子清洗機(jī)具有廣泛的應(yīng)用前景。主要用于清洗微米級或納米級表面的材料，應(yīng)用領(lǐng)域主要包括：
 

　　1.微電子行業(yè)：等離子清洗機(jī)用于清洗半導(dǎo)體芯片、集成電路、微電子器件等微米級別的電子元件。清洗過程可以去除雜質(zhì)、有機(jī)物和金屬離子等，提高電子元件的性能和可靠性。
 

　　2.光伏行業(yè)：用于清洗太陽能電池板的表面，去除塵埃、油脂和其他雜質(zhì)，提高光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和發(fā)電量。
 

　　3.光學(xué)行業(yè)：可用于清洗光學(xué)器件、光學(xué)鏡片、光學(xué)纖維等微米級別的光學(xué)元件。清洗后可降低光學(xué)元件的表面反射率，提高透光率和光學(xué)性能。
 

　　4.材料研發(fā)和制備：等離子清洗機(jī)可用于清洗納米顆粒、薄膜和納米材料等微米級別的材料，去除表面的有機(jī)物、雜質(zhì)和氧化物等。清洗后可提高材料的表面活性和附著能力，有利于材料的研究和制備。
 

　　5.生物醫(yī)學(xué)行業(yè)：用于清洗微米級別的生物醫(yī)學(xué)器械、醫(yī)用器具、植入物等，去除細(xì)菌、病毒和其他有害微生物，提高產(chǎn)品的衛(wèi)生安全性。
 

　　6.精密機(jī)械行業(yè)：用于清洗精密機(jī)械零部件、精密儀器、機(jī)械表面等微米級別的精密零件。清洗后可提高機(jī)械零件的精度和壽命，減少摩擦和磨損。