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橢偏儀是一種利用偏振態的變化 后光束探測樣品反應技術。不像反射儀,參數(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變入射角??梢缘玫礁嗟臄祿?,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數據信心。因此,可變角度比固定角度的系統具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變入射角,手動或自動模式。
在硅片等基板上附膜時,由于基板和薄膜的物理定數有異,產生應力,進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲,而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲(曲率半徑)的變化量測量其應力。
薄膜反射儀是一款相對較低成本和操作簡單的工具?;陉嚵械奶綔y器系統保證快速測量,可升級到MSP(顯微分光光度計)系統,SRM映射系統,多通道系統,大點的·直接測量圖案或功能結構。
光學接觸角測量儀可根據客戶的需求,針對不同的工作測試環境,提供相應的解決方案,如有技術請咨詢德國韋氏納米系統
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